플라즈마 복합기 PCMC — 3D 뷰어

드래그 회전 · 휠 확대 · 부품을 누르면 설명 · 근거: 파인솔루션 매뉴얼(2023.12) · 박막공정실습 녹취·조건표 · 장비 사진 · 1학기 실측 모델

챔버 압력 5.0×10⁻⁶ Torr (고진공 · 도어 열 수 없음)

    도어를 열기 전에 진공을 파기해야 합니다

    챔버 안은 지금 이고 바깥은 대기압(760 Torr)입니다. 도어가 대기압에 눌려 있어 열리지 않고, 억지로 열면 안 됩니다. 아래 순서로 챔버를 대기압으로 만든 뒤 엽니다.

    1. 전원 OFF가 가장 먼저 · 가스 차단(MFC)
    2. 쓰로틀 밸브 ⑦ 열어 잔류 가스 배기
    3. 셔터 닫기 · 게이트 밸브 ⑤ 닫기 (터보펌프는 계속 회전)
    4. 벤트 밸브 ⑨ 열기 → 공기가 디퓨저를 거쳐 천천히 들어와 대기압
    5. 대기압 표시(파란불) 확인 → 도어 열기

    근거: 매뉴얼 표 2.2.1 (⑨ 벤트 밸브) · 박막공정실습 녹취 11.03 「파워를 끄는 게 가장 먼저… 게이트를 닫고 벤트를 열면」 · 11.24 「벤트를 하면 공기가 들어가… 디퓨저」

    부품 목록
    터보펌프 컨트롤러 TC1103 (오사카진공)
    가이슬러 튜브
    박막공정실습 3회차 실제 영상(7~10배속). 위 자막의 압력은 그 순간 영상 속 모니터의 풀레인지 게이지(F.G) 값.

    Process Screen — 가스 · MFC 입력

    MFC01 Ar 0 sccm
    sccm (MFC 50 sccm × 3채널)
    제어부 터치 모니터 — Process Screen
    0 W
    0 V
    2 mA
    0 W
    4 V
    0 mA
    DC
    PULSE
    RF
    0W 0V 0mA
    OFF
    0W 1500V 100mA
    OFF
    Open
    Close
    Open
    Close
    Open
    Close
    0
    0
    0
    0
    0
    0
    CLOSE
    VACUUM
    ⋈
    OFF
    100.8 mTorr
    B.G
    7.6E+2 Torr
    F.G
    0.0 V
    0.0 V
    0.0 uA
    OFF
    ⋈
    100.0 %
    ⋈
    CLOSE
    ⋈
    Roughing
    ⋈
    Foreline
    ⋈
    7.6E+2 Torr
    0.0 rpm
    0.0 rpm
    STOP
    0.0 mTorr
    0.0 %
    STOP
    00:00:00
    00:00:00
    0
    7894561230.⌫
    ClearOK✕ Cancel
    부품 클릭 → 설명 · 왼쪽 목록에서 선택해도 됩니다
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